








| Производитель | Ebara |
|---|---|
| Страна производитель | Япония |
EBARA EV-S100P – промышленный сухой вакуумный насос с безмасляной конструкцией и рутс-технологией.
Уникальный ротор EBARA с функцией холостого хода и рутс-вакуумной технологией обеспечивает мировую энергоэффективность в компактном корпусе. Специальная система выхлопа гарантирует стабильную производительность даже при атмосферном давлении, независимо от частоты (50/60 Гц).
Основные характеристики:
✅ Безмасляная, бесконтактная конструкция
✅ Низкое энергопотребление с высокопроизводительными бесщеточными DC-двигателями
✅ Компактный и легкий корпус
✅ Идентичная производительность при 50/60 Гц
✅ Интеллектуальная система предупреждений и хранения данных аварий
✅ Программируемый LCD-контроллер для настройки предупреждений
✅ Сенсорная система для минимизации простоев
✅ Сертификация SEMI S2, CE, NRTL
Опции:
• Возможность N2 Purge
• Анкерные кронштейны
• Интегрированные решения Rack
• Подъемники для установки
• Многоразовые транспортные ящики
Типичные применения:
✅ Ашинг (Ashing)
✅ Метрологоческое оборудование
✅ Травление (Etching)
✅ Ионная имплантация (Ion Implant)
✅ Загрузочные шлюзы и трансферные камеры
✅ Физическое осаждение из паровой фазы (PVD)
✅ Сканирующие электронные микроскопы (SEM)
Технические характеристики (EV-S100P):
• Скорость откачки (60 Гц): 10000 л/мин
Покупайте оригинальные сухие вакуумные насосы EBARA EV-S100P с гарантией и сервисом. Доставка по Украине.