









| Производитель | Ebara |
|---|---|
| Страна производитель | Япония |
EBARA EV-S – серия безмасляных сухих вакуумных насосов для легких промышленных применений.
Благодаря уникальной конструкции ротора и рутс-технологии серия EV-S демонстрирует мировую энергоэффективность при минимальных габаритах. Функция холостого хода снижает энергопотребление, а особая конструкция выхлопа обеспечивает стабильную производительность даже при работе близко к атмосферному давлению независимо от частоты (50/60 Гц).
Основные характеристики:
✅ Безмасляная конструкция
✅ Низкое энергопотребление с высокопроизводительными бесщеточными DC-двигателями
✅ Компактный и легкий корпус
✅ Идентичная производительность при 50/60 Гц
✅ Интеллектуальная система предупреждений и хранения данных об авариях
✅ Программируемый LCD-контроллер для настройки предупреждений
✅ Продвинутое сенсорное управление для уменьшения простоев
✅ Сертификация SEMI S2, CE, NRTL
Опции:
• Возможность N2 Purge
• Анкерные кронштейны
• Интегрированные вакуумные системы (Rack Solutions)
• Подъемники для установки насоса
• Многоразовые транспортные ящики
Типичные применения:
✅ Метрологоческое оборудование
✅ Загрузочные шлюзы и трансферные камеры
✅ PVD (Физическое осаждение из паровой фазы)
✅ Сканирующие электронные микроскопы (SEM)
✅ Легкое травление (light etch)
✅ Ашинг-процессы
Технические характеристики (пример – EV-S20P):
• Скорость откачки (60 Гц): 1,670 л/мин
Покупайте оригинальные сухие вакуумные насосы EBARA EV-S с гарантией и сервисом. Доставка по Украине.