К сожалению, товар недоступен. Просмотри товары от других продавцов
Вакуумный универсальный пост ВН-2000
Цену уточняйте
Характеристики и описание
Основные
| Производитель | Собственное производство |
|---|---|
| Страна производитель | Украина |
Пользовательские характеристики
| Напряжение на выходе высоковольтного выпрямителя | 7 кВ |
|---|---|
| Максимальная потребляемая мощность, к\/А, не более | 5 |
| Потребляемая мощность без приставок, кVA, не более | 1.9 |
| Ток накала испарителей | 200А |
| Питание прибора осуществляется от трехфазной сети переменного тока | напряжением 220/380 V, частотой 50 Нz |
| Остаточное давление в высоковакуумном объеме пpи охлаждении ловушки жидким азотом | 1,310-4 Pa |
| Масса прибора, кg , не более | 350 |
тел. +38 (068) 14-30-209, +38 (066) 063-21-12
Предназначен для получения пленок из различных материалов с высокой производительностью различными методами распыления в вакууме
Установка ВН-2000 предназначена для получения вакуума в рабочем объеме, нанесения пленок в вакууме из проводящих, полупроводниковых и диэлектрических материалов методом магнетронного, резистивного и электронно - лучевого распыления, а также для травления материалов в плазме (в зависимости от комплекта поставки).
Установка может быть применена для исследования в области физики, химии, биологии, медицине, материаловедении, микроэлектроники и других отраслях, а также отработки отдельных технологических операций по напылению.
Установки могут эксплуатироваться при температуре окружающего воздуха от 10 оС до 35 оС, относительной влажности не более 80% и атмосферном давлении от 84 кПа до 106,7 кПа.
Электрическое питание установки должно соответствовать:
Напряжение, В 380/220;
Частота, Гц 50.
Качество электрической энергии по ГОСТ 13109.
Потребляемая мощность установки должна быть не более 3 кВА.
ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ И ХАРАКТЕРИСТИКИ
3.1 Масса установки не более 350 кГ.
3.2 Установка обеспечивает предельное остаточное давление (в чистой и обезгаженной) рабочей камере 5•10-4 Па.
3.3 Нагреватель в устройстве напыления обеспечивает температуру в районе подложки не менее 300 оС.
Время нагрева до температуры 300 оС не более 30 мин.
3.4 Напряжение на выходе высоковольтного выпрямителя (без нагрузки) регулируется от 0,5 кВ до 4,0 кВ.
Предельное отклонение верхнего значения 0,3 кВ.
3.5 Напряжение блока питания магнетрона постоянного тока (без нагрузки) до 1 кВ.
3.6 Максимальный ток блока питания магнетрона постоянного тока — 300 мА.
3.7 Максимальный ионный ток устройства ионного травления — 100 мA.
3.8 Установка обеспечивают откачку рабочей камеры с атмосферного давления до давления 2,010 —3 Па за время не более 15 мин.
3.9 Ток пучка электронного испарителя регулируется от 0 мА до
200 мA.
3.10 Ток накала электронно-лучевого испарителя регулируется от 2 до 10А.
3.11 Ток источника резистивного испарителя 1 регулируется от 5 до 200А.
3.12 Ток источника резистивного испарителя 2 регулируется от 3 до 50А.
Сохраняется возможность установки всего ассортимента дополнительных аксессуаров, представленных на сайте
