


| Производитель | Собственное производство |
|---|---|
| Страна производитель | Украина |
| Диаметры мишеней | 104 мм |
|---|
тел. +38 (068) 14-30-209, +38 (066) 063-21-12
Магнетроны применяются в составе устройств магнетронного распыления для нанесения покрытий методом магнетронного распыления.
Магнетрон представляет собой планарный магнетрон, состоящий из охлаждаемого водой катода и анода. Снаружи к магнетрону осуществляется подвод напряжения через разъем на катод. Катод изолирован от анода изолятором.
Магнитная система магнетрона состоит из магнита кольцевого (NdFeB) и цилиндрического, магнитопровода.
Магнетрон устанавливается на основании рабочего объема в установочное место и фиксируется накидной гайкой. Вакуумное уплотнение обеспечивается с помощью уплотнителя. В другое установочное место основания рабочего объема устанавливается механизм поворота заслонкой.
Диаметры мишеней:
МП-104 — 104 мм;
МП-52 — 52 мм;
МП-42 — 42 мм. Источники питания:
— блок питания постоянного тока;
— блок питания переменного тока.