Магнетрони МП-104, МП-52, МП-42

Магнетрони застосовуються у складі пристроїв магнетронного розпилення для нанесення покриттів методом магнетронного розпилення.

Магнетрон являє собою планарний магнетрон, що складається з охолоджуваного водою катода і анода. Зовні до магнетрону здійснюється підведення напруги через роз'єм на катод. Катод ізольований від анода ізолятором.
Магнітна система магнетрона складається з кільцевого магніту (NdFeB) і циліндричного, магнітопровода.
Магнетрон встановлюється на підставі робочого об'єму установче місце і фіксується накидною гайкою. Вакуумне ущільнення забезпечується з допомогою ущільнювача. В інший установче місце підстави робочого об'єму встановлюється механізм повороту заслінкою.
Діаметри мішеней:
МП-104 — 104 мм;
МП-52 — 52 мм;
МП-42 — 42 мм. Джерела живлення:
— блок живлення постійного струму;
— блок живлення змінного струму.