Книга японских специалистов посвящена исключительно актуальному направлению современной технологии производства электронных изделий - созданию особо чистых помещений для изготовления прецизионных электронных компонентов и высококачественных материалов. Приведена классификация чистых помещений, рассмотрены конструкции фильтров для очистки воздуха от взвешенных микрочастиц. Обсуждаются воздействия разнообразных производственных факторов (вибраций, электромагнитных помех и т.д.) на качество и выход годных полупроводниковых изделий. Розглядаються принципи застосування хімічних реагентів і газів, а також способи одержання особливо чистої води. Для фахівців з технології виробництва виробів мікроелектроніки і волоконної оптики, матеріалів для квантової електроніки та плівковою техніки, а також технологів фармацевтичної промисловості. У військовий час актуальність товару уточнюйте за номером телефону.